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半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室要關(guān)注的幾大要點(diǎn)

一、半導(dǎo)體潔凈室要控制的的主要因素

1、潔凈室溫度：23±1℃

2、潔凈室濕度：45±3%rh

3、潔凈室噪聲：煩惱效應(yīng)，語(yǔ)言通訊干擾，影響工作效率，低頻噪聲影響設(shè)備

4、潔凈室壓力：正壓與負(fù)壓是相對(duì)而言，一個(gè)潔凈室對(duì)大氣而言是正壓潔凈室，但對(duì)另外一個(gè)房間而言可能是負(fù)壓潔凈室。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不小于10Pa.

5、潔凈室靜電：地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定，采用靜電耗散性材料，地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，流動(dòng)液體，氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。

6、潔凈室振動(dòng)：*密設(shè)備、*密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)提供。振動(dòng)尤其對(duì)光刻設(shè)備影響**。

7、潔凈室潔凈度：半導(dǎo)體潔凈室控制的重中之重

生產(chǎn)區(qū)：1000級(jí)

黃光區(qū)：100級(jí)

Mask光罩區(qū)：10級(jí)

二、如何控制潔凈室內(nèi)顆粒物?

通常通過(guò)服裝，MAU，F(xiàn)FU及入口的風(fēng)淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產(chǎn)生

潔凈室：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力、靜電、振動(dòng)、噪聲等按要求進(jìn)行控制。

為什么半導(dǎo)體行業(yè)需要建造潔凈室：由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來(lái)越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過(guò)程中就要防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類(lèi)有機(jī)物等)，因?yàn)檫@些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路需要在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。